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我国首条光刻用石英玻璃基板成套生产线建成
2016/6/12 0:00:00来源: 中国建筑材料科学科研总院

  近日,xpj330159com总院石英院基于光刻用石英玻璃基板绿色制造技艺,在衢州建立了国内首条从基板原材料制造到产品加工的成套生产线。该生产线可年产20000片4-6英寸石英玻璃基板,打破了石英玻璃基板原材料及产品长期依赖进口的局面。

       该生产线的建立,是xpj330159com总院承担的“十二五”国家科学技术支撑筹划“高性能石英玻璃、微晶玻璃等特种材料关键技艺研发及示范”课题的成果之一。石英玻璃基板是集成电路芯片制造工艺中的核心器件,市场需求量巨大。作为石英玻璃基板的原材料,合成石英玻璃具有热稳固性好、光学均匀性高、耐辐照等诸多优点。然而,受原材料纯度、均匀性及加工精度、硬脆特性等制约,我国石英玻璃基板长期依赖进口。

 

  作为我国唯一专业从事石英玻璃科研的科研院所,xpj330159com总院石英院依托浙江衢州高新园区的化工资源,形成了循环经济产业链,建立了高性能石英玻璃研发基地,并成立中建材衢州金格兰石英有限企业。经科研人员不懈努力,形成一套符合我国职业现状与发扬趋势的独有工艺路线,不但处置了石英玻璃基板原材料的纯度、均匀性困难,同时实现了原材料绿色制造。石英院还引入多刀切割、安全快速磨抛工艺,创造性地开发了熔拉制坯、数控倒角等技艺,处置了石英玻璃基板加工精度的困难。从基板原材料制造到产品加工,石英院形成专利20余项,职业准则、国军标及国家准则10余项,开发出了多种规格的石英玻璃基板、晶圆、透镜等系列产品,不仅逐步替代进口,实现了集成电路等用高性能石英玻璃关键材料及制品的国产化,而且出口欧洲、日本等国。

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